瑞耘科技股份有限公司
- 大陸企業名稱
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- 瑞耘半導體設備(上海)有限公司
- 集團名稱
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- 企業網址
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- http://www.calitech.com.tw
- 創立年度
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- 1998年
- 投資地點
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- 上海
- 產品項目
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- 半導體零組件、系統設備
- 董事長
- ：
- 呂學恒
企業簡介
公司創始於1998年提供台灣內外半導體、微機電、LED、通訊、平面顯示器、太陽能光電等產業設備，製造客戶最先進的技術整合方案。目標成為全球高科技製程設備之關鍵零組件及系統的主要供應商。主要零組件產品，已涵蓋Etch、CVD/PVD、CMP、Diffusion等製程設備之關鍵零組件製造如『上下電極』、『晶圓夾持環』、『高真空腔體』、『氣體擴散頭』『腔體保護襯套』、 『晶圓加熱器』,『靜電吸盤』等，並提供其維修及清洗服務。陸續完成了晶圓旋乾機(Spin Rinse Dryer)、晶圓蝕刻清洗機Spray Acid Tool (SAT) / 晶圓光阻清洗機Spray Solvent Tool (SST) 、晶圓旋轉塗佈機 (Spin Coater)及研磨液供應系統(Slurry Supply System)等設備之研發、製造和銷售。開發出最佳化的靜電吸盤解決方案，不僅可使用在半導體行業，其特殊設計亦可應用在絕緣體及多種材料。目前在台灣設有工廠，也前進大陸上海投資設廠。
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| 編號 | 子公司名稱 | 國家 | 省/州 | 地級市/縣市 | 縣級市/鄉鎮 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 瑞耘科技股份有限公司 | 中華民國 | 台灣省 | 新竹縣 | 湖口鄉 |
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