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刊登日期：2020/9/24 下午 02:49:58 資料來源：工商時報

設備大廠均豪進軍半導體市場邁大步，和IBM技術合作的高敏度皮秒IC分析儀器，取代國外設備，正式出貨給晶圓代工龍頭大廠。另外，均豪自動導引運輸車也進入晶圓大廠5奈米工廠，未來在其他廠區也會導入。均豪智慧物流、檢測設備進入半導體業，預期2021年半導體設備業績倍增，成為未來成長引擎。均豪董事長陳政興表示，四年前和IBM合作、簽訂技術授權合約，今年高敏度皮秒IC分析儀器（PICA）商品化，日前舉行出機儀式、本週正式出機，供貨給晶圓代工龍頭大廠。相較於過去日本、美國大廠EMMI舊技術，均豪所開發的高敏度皮秒IC分析儀器進行動態分析，可以快速找到缺陷，有利於提升後續物性分析準確率，對於製程良率、可靠性提升大有幫助。未來期望提供更新的技術、更具競爭力的成本，逐步取代美日大廠的設備。從產品組合來看，今年均豪面板相關設備佔比約70％、半導體10％、智慧物流、被動元件等其他應用營收佔比約20％。明年半導體營收占比將翻倍，同時也將拉抬毛利率提升。

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