ASML來台設技術培訓中心！助攻台積電先進製程，年產360位工程師
刊登日期：2020/8/24 上午 09:06:57 資料來源：數位時代
2010年半導體微影技術供應商艾司摩爾（ASML）交予台積電第一台原型機進行研發工作後，便開啟了全球微影技術的新紀元。對於台積電跟艾司摩爾兩個合作夥伴來說，這近10年的研發過程可說是教學相長，台積電透過比競爭對手更長的時間摸索跟了解EUV機台特性，利用研發上的各種問題跟挑戰進行擊破，並在2017年ASML交付第一台量產型EUV機器予台積電後、加速發展，這也是為什麼台積電能在2019年領先對手量產、率先端出導入EUV製程的7奈米強效版（N7+）的關鍵。目前該中心共配置14位講師，每年可以提供數千小時的課程，能夠為ASML以及客戶培育出360位EUV技術工程師。但講師也透露，360位EUV技術工程師是培訓中心可承受的最大數量，也需要依照訓練結果進行測驗，最終能獲取合格資格的可能將不足360位；另外，EUV機器因為相當龐大，高3公尺、寬10公尺，內部規劃也相對複雜，總共有10萬個零組件，因此訓練課程可以分為5大類型，學員將依照自己的專長進行單一類別的訓練，成為EUV機台個別部分的專業技術工程師。今年因為疫情的關係，除了艾司摩爾內部的訓練需求外，台灣客戶將可享有大部分的資源，但未來這座EUV訓練培訓中心將會接納全球客戶的需求，並依據區域進行比例的分配，屆時台灣能有多少的資源都是未知數。在先進製程邁入越來越小的這個時代，EUV成了當前重要的解決方式，面對如火如荼的3奈米、2奈米先進製程開發的台積電，這個緊密合作夥伴艾司摩爾來台設立EUV技術培訓中心，對台積電來說無疑是在製程發展上注入一劑強心針，也誠如王英朗在致詞時所言：「希望能繼續用更好的半導體表現來改善人類的生活。」
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