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許金榮專訪╱漢微科超越美日 搶單英特爾
漢民微測科技股份有限公司
刊登日期：2012/10/22 下午 02:05:27 資料來源：聯合人力網
隨著半導體製程向20奈米以下發展，新崛起的電子束檢測設備逐漸取代應用多年的光學檢測設備，漢微科搶先布局、緊抓趨勢，在電子束檢測設備領域已取得85%市占率，遙遙領先美商科磊（KLA）、日本NGR、日立等公司。漢微科成功跨過產業天險，成為台灣唯一具備半導體前段製程技術的檢測設備供應商，已打進台積電、聯電、三星、美光、格羅方德等大廠供應鏈。隨著製程技術微縮，電子束檢測設備取代光學檢測設備的腳步將加速，加上晶圓大廠持續擴產，漢微科今年業績會比去年成長，明年也會持續成長。隨著半導體製造從8吋晶圓提升到12吋晶圓、記憶體廠發展直通矽晶穿孔（TSV）製程技術、半導體製程朝向20奈米以下發展。在這3大趨勢的帶動下，未來幾年半導體製造廠對於電子束檢測設備的需求絕對是有增無減。
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