驚豔市場！台積電4奈米提前試產、5奈米將在美國晶圓廠量產，還有哪些新技術？
刊登日期：2021/6/10 下午 07:00:00 資料來源：風傳媒
5奈米良率優於預期，從去年量產至今出貨已達50萬片。台積電總裁魏哲家表示，5奈米製程大量使用EUV，未來將持續提高EUV設備的生產力和效能，以鞏固台積電在EUV方面的領先地位。台積電首度將5奈米導入自駕輔助系統，推「N5A製程」，預計2022年第三季問世。4奈米製程是5奈米的加強版，裸晶面積比5奈米小6%，藉由減少光罩層，以及與5奈米相容設計下，良率表現將可達到與5奈米相同水準，預計於2021年第3季開始試產，較原先規劃提早一季。3奈米部分，魏哲家表示，將會持續使用Fin-fet transistor，提供給終端產品最佳的成熟度、效能、功耗、和城本效益，3奈米製程將進一步增加EUV的使用，預計2022下半年在南科18廠進入量產；2奈米則正在土地取得程序中。特殊製程技術方面，台積電特別針對時下通訊需求最大的RF技術，N6RF，針對「6GHz」以下及毫米波頻段的5G射頻收發器提供大幅降低的功耗與面積，同時兼顧消費者所需的效能、功能與電池壽命，亦將強化支援WiFi 6/6e的效能與功耗效率。除了射頻（RF），在微機電系統（MEMS）、互補式金屬氧化物半導體（CMOS） 影像感測器等，都是台積電在特殊製程所涵蓋到的領域。魏哲家表示，台積電大力投入3D IC技術研發，去年將所有晶圓級3D IC技術整合至同一個旗下，命名為3D Fabric， 包括CoWas、Info、SoIC，其中，HPC領域的創新者已對CoWas很熟悉，Info封裝技術則廣泛使用於行動裝置，SoIC是旗下最新成員，且是業界第一個高密度小晶片（chiplet）堆疊技術。魏哲家說，chiplet堆疊是一個最好的選擇。
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