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刊登日期：2016/9/27 下午 12:53:10 資料來源：財訊雜誌

瑞耘早已著手布局更高階的半導體設備關鍵元件─陶瓷靜電吸盤和晶圓加熱器布局。「過去，沒有一家台灣廠商去挑戰陶瓷靜電吸盤和晶圓加熱器，因為這類型的產品很難被認可！」呂學恒說，日本是陶瓷靜電吸盤最大的出口國，競爭對手包括NGK、Tocalo、ToTo等強敵，所以沒有人相信瑞耘可以做得到。連瑞耘的最大客戶應用材料，至今都還不認可瑞耘陶瓷靜電吸盤的製造能力。呂學恒驕傲地說，「其實我們的產品第四季就會給客戶認證，通過認證之後，就會量產了，屆時就會扭轉應材覺得我們做不到的想法。」他認為，等到瑞耘做出來之後，無論在國際市場的能見度，甚至對於台積電都是一個重大訊息，代表台灣有實力可以做出如陶瓷靜電吸盤的高階半導體設備關鍵元件。瑞耘也注意到，過去25年陶瓷靜電吸盤都集中在半導體應用，但這幾年陶瓷靜電吸盤已經慢慢延伸至光電（光電設備真空貼合製程關鍵零組件的陶瓷靜電吸盤），或觸控玻璃貼合等應用。瑞耘新開發的晶圓加熱器，未來也將瞄準十與七奈米製程設備。「我們的晶圓加熱器產品線，在應材半導體設備最初的研發階段就參與，也是我看好的產品線之一。」呂學恒興奮地說。瑞耘正嘗試為自己與台灣半導體產業，開闢一條新藍海。呂學恒期許著，未來五年甚至10年後，瑞耘會是一家脫離代工轉為主要供應高階半導體設備關鍵元件─陶瓷靜電吸盤或晶圓加熱器的公司。

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