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7奈米製程大亂鬥,台積電與三星技術訴求各不同

台灣積體電路製造股份有限公司的故事
台灣積體電路製造股份有限公司

刊登日期:2018/11/13 上午 09:14:33 資料來源:數位時代

10奈米以上由眾多廠商分食,由台積電、美國的Intel、Global Foundries與韓國三星形成美中韓三大陣營。10奈米以下製程,則因為美國Global Foundries宣布無限期展延7奈米製程,Intel尚無法突破在10奈米製程瓶頸的結果,7奈米製程由台灣台積電與韓國三星雙雄稱霸。廠商在7奈米先進製程的競爭勝出因素在於穩定的量產性與良率表現,影響客戶下單的意願。工研院IEK分析,台積電的7奈米「走穩扎穩打」路線,量產初期使用深紫外光刻(DUV)曝光,利用沉浸式曝光和多重曝光技術平穩轉進7奈米。而第一代7奈米鰭式場效電晶體(FinFET)製程已經在2017年第二季進入試量產階段,與10奈米FinFET製程相比,7奈米FinFET製程可以在電晶體數量相同的情況下使晶片減少37%,或在電路複雜度相同的情況下降低40%功耗。等到DUV穩定後,再轉換到極紫外光(EUV)曝光10奈米以下製程,針對EUV最佳化布線密度可減少10%到20%的面積,或在電路複雜度相同的情況下,比第一代7奈米FinFET再降低10%功耗。而三星則走大膽前進路線。直接搶進7奈米 EUV,而在7奈米之後則規劃使用第二代EUV曝光技術的6奈米製程,屬於7奈米EUV技術的加強版,電器效能更好。在2018年下半年試產使用7奈米EUV技術產品,大規模投產時間為2019年下半年,而6奈米製程應該會在2020年後出現。


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