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蔚華以漢微科為師拚自製!推 SiC 基板、矽光子檢測
蔚華科技股份有限公司
刊登日期:2023/11/29 下午 01:02:06 資料來源:聯合新聞網/ 經濟日報
「我有個夢想,像漢民集團的漢微科,也是代理起家,後來投入前段設備,後來被ASML買走,是成功的案例,這就是因為他們有自己(研製)的東西。」蔚華董事長秦家騏以漢民集團為師,正大力從代理轉向自製之路蔚華科技28日攜手持股51%的數位光學品牌南方科技,共同推出業界首創的JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測系統,採用先進非線性光學技術,可以對SiC基板進行全片掃描,找出基板內部的致命性晶體缺陷,用「全檢」取代現行破壞性KOH(氫氧化鉀)蝕刻「抽檢」方式,有助於協助改善SiC功率元件生產良率,並替基板廠節省10%物理耗損。而南方科技能有如此創新檢驗方法,主要是因為該團隊過去做生物細胞檢測設備,蔚華因有半導體通路經驗,拿來運用於半導體檢測,竟意外使光學技術價值大幅提昇,機台設備身價超過4000萬~5000萬元。「未來期望自製為主,代理為輔。」秦家騏透露,未來蔚華還會進行策略性投資併購,也計畫提高南方科技持股至100%,而CIS檢測設備則是利用FPGA卡進行CMOS晶片檢測運算,可大幅縮短檢測時間,目前已有中國大陸客戶在手,正跟日本原廠洽談高相素晶片檢測技術驗證。